英國(guó)Edwards濕泵、Edwards干泵、EdwardsEXT 渦輪分子泵、Edwards真空閥、Edwards半導(dǎo)體泵、Edwards工業(yè)干泵、Edwards大型油封泵、Edwards滾軸泵
 

英國(guó)Edwards 是****的半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池制造集成解決方案提供商，是工業(yè)、制藥、化工、科研、加工、玻璃鍍膜、食品包裝行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用的真空技術(shù)帶領(lǐng)者。ECKERLE泵
 

英國(guó)Edwards在**擁有約 3000 名員工，從事高科技真空和廢氣管理設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和支持工作。我們還依托國(guó)際化的銷售和服務(wù)團(tuán)隊(duì)，提供其他廣泛的泵技術(shù)和相關(guān)產(chǎn)品。
 

Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家****的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司今天推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池板制造商節(jié)省更多成本。
 

英國(guó)Edwards XDS 滾軸泵:在需要無(wú)油泵時(shí)，滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，特別是采用了創(chuàng)新的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與各種潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)，使之不**全干燥， 而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過(guò)可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn);這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場(chǎng)合。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵小型 EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 和 1.5 m3/hr。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。
 

· 主要產(chǎn)品、小型濕泵和干泵、EXT 渦輪分子泵、測(cè)量與控制、真空閥、半導(dǎo)體泵、工業(yè)干泵、大型油封泵
 

一、EXT 渦輪泵

EXT 渦輪分子泵

Edwards EXT 渦輪分子泵和復(fù)合分子泵提供可靠的、無(wú)碳?xì)浠衔锏母哒婵蘸统哒婵铡?EXT 使用多級(jí)軸流式渦輪機(jī)以及磁性陶瓷軸承，可為高臨界前級(jí)線路壓力制程提供無(wú)油、無(wú)振動(dòng)的操作，同時(shí)將維護(hù)需求降至*低。
 

nEXT 渦輪分子泵

真空技術(shù)的**帶領(lǐng)者 Edwards 推出了 nEXT 渦輪分子泵。 nEXT 汲取成熟、可靠的 EXT 和 STP 系列(超過(guò) 200,000 臺(tái)在實(shí)際運(yùn)行)累積的十年經(jīng)驗(yàn)，為科學(xué)渦輪泵樹立了新的標(biāo)桿。

nEXT 平臺(tái)實(shí)現(xiàn)高度的模塊化，為滿足客戶應(yīng)用和需求提供了*大的靈活性。 每臺(tái)泵都提供兩種不同的內(nèi)部配置，以實(shí)現(xiàn)不同的性能。
 

TAG 渦輪泵和有源真空計(jì)控制器

TAG(渦輪泵和有源真空計(jì))控制器是小型、緊湊、低成本的泵送系統(tǒng)控制器，廣泛適用于各種真空應(yīng)用。它是 24V 控制器，兼容所有 Edwards DX 和 nEXT 渦輪泵。它不含電源。因此需要自備電源或購(gòu)買選配電源供給。除了渦輪泵外，它還可控制前級(jí)泵、排氣閥、空氣冷卻器和 Edwards 有源真空計(jì)。
 

渦輪泵車

T-Station 75 是 Edwards 新推出的入門級(jí)渦輪泵系統(tǒng)。它包括我們經(jīng)過(guò)實(shí)踐檢驗(yàn)的 EXT75DX，搭配油封的 E2M1.5 前級(jí)泵或 XDD1 隔膜泵，適用于需要*全干燥的應(yīng)用。

T-Station 使用新的 TAG(Turbo 和有源真空計(jì))控制器作為標(biāo)準(zhǔn)配置，可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)通過(guò)單按鈕啟動(dòng)/停止、可控制其中一個(gè)有源真空計(jì)*、排氣閥控制*以及在真空計(jì)讀數(shù)匹配時(shí)延時(shí)或降壓?jiǎn)?dòng)，因此 T-Station 非常適合一般的實(shí)驗(yàn)室需求。

TIC 分子泵控制器

Edwards TIC 分子泵控制器是一種緊湊型渦輪泵控制器，可以安裝在機(jī)架或工作臺(tái)上，擁有清晰的大型圖形顯示屏、直觀的用戶界面和串行通信。通過(guò)全新的 Windows™ PC 程序，可以實(shí)現(xiàn)*全的遠(yuǎn)程控制和數(shù)據(jù)記錄功能。TIC 分子泵與儀表控制器可以控制渦輪泵和*多三臺(tái) Edwards 真空計(jì)。所有儀表均能自動(dòng)識(shí)別和支持。
 

二、小型濕/干泵

nXDS 滾軸泵

nXDS 泵在傳統(tǒng) XDS 泵的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，提高了抽速，降低了*限壓力、功耗和噪音。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了*新的端部密封技術(shù)，顯著延長(zhǎng)了端部密封更換的時(shí)間間隔。具有自動(dòng)電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動(dòng)提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可*全進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)維修。
 

nXDS-C 滾軸泵

確切地說(shuō)，nXDS 泵是干式真空泵，和所有軸承及其碳?xì)浠衔餄?rùn)滑劑一樣，與真空環(huán)境是隔離的。 nXDS 泵適用于蒸汽處理制程，可用于某些涉及腐蝕性物質(zhì)和微粒的泵送應(yīng)用。 有關(guān)泵送易燃?xì)怏w的信息，請(qǐng)與 Edwards 聯(lián)系。
 

XDS 滾軸泵

在需要無(wú)油泵時(shí)，滾軸泵可出色地替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，特別是采用了創(chuàng)新的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與各種潤(rùn)滑劑隔離開(kāi)，使之不* *全干燥， 而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過(guò)可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn);這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場(chǎng)合。
 

無(wú)氣鎮(zhèn) (NGB) 滾軸泵

NGB 泵是標(biāo)準(zhǔn)的 NXDSXDS 泵，但去除了氣鎮(zhèn)功能。用于適合移除控制旋鈕和機(jī)械裝置的套件，以避免氣鎮(zhèn)意外開(kāi)啟。這樣的應(yīng)用示例包括稀有氣體再循環(huán)和氣體回收。

注：電源線*須單*訂購(gòu)，請(qǐng)參見(jiàn)產(chǎn)品目錄了解相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn) NXDSXDS 泵所需的正確電源線。
 

E2M0.7 和 1.5 油封旋片泵

小型 EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 和 1.5 m3/hr。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。
 

RV 旋片泵

Edwards RV 系列油封旋片泵 功能****，同時(shí)具備高真空和高吞吐量性能，超低的噪音級(jí)別和**的氣囊裝置，使其成為廣泛適用于各種應(yīng)用和環(huán)境的理想產(chǎn)品。這些泵的抽速范圍為 3 至 12 m3/hr。
 

EM18 和 28 油封旋片泵

中型 EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 18 和 28 m3/hr。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。
 

小型 ATEX 擴(kuò)散泵

我們廣受歡迎的 RV、E1M18 和 E2M18 可用于 ATEX 認(rèn)可的電機(jī)，這些電機(jī)的 ATEX 外部分類為 IIB 或 IIC，內(nèi)部分類為 Ex II 3G c IIB T4。
 

隔膜泵

Edwards 隔膜泵系列采用輕型、緊湊的設(shè)計(jì)，提供清潔的泵送功能，非常適合清潔的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。這種泵可以*立運(yùn)行，也可以作為模塊化系統(tǒng)的一部分運(yùn)行，只需*少的維護(hù)工作。這些泵的抽速*高可達(dá) 2 m3/hr。

應(yīng)用

分析儀器、電子掃描顯微鏡 - SEM、射束線和高能物理、渦輪分子前級(jí)泵、超高速離心機(jī)、覆層、低溫學(xué)、脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂、蒸餾/萃取/過(guò)濾、冷凍干燥、熔爐、凝膠體干燥、實(shí)驗(yàn)室工作臺(tái)上真空、激光、氣體回收和再循環(huán)、氦檢漏儀、負(fù)載鎖和傳輸腔、稀有氣體再循環(huán)、稀有氣體回收、冷凍制造、研發(fā)、旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器、SEM/FIB(離子束維修)、溶劑回收、表面科學(xué)儀器